㈜APS

오픈메탈마스크 세정

OMM(Open Metal Mask) 세정은 OLED 디스플레이 증착 공정에서 마스크에 쌓인 유기물 및 이물질을 제거하여 재사용하게 하는 고정밀 기술입니다.

부품 코팅

1. 용사 코팅(Thermal Spray Coating) 정의
초고온·고속의 플라즈마 제트를 열원으로 사용하여 부품 표면에 내식성 및 절연성 피막을 형성하는 기술입니다.

2. 자체 소재 기술 보유
플라즈마 내식성 코팅용 분말(YAC, YAG 등)을 자체 제조하는 원천 기술을 보유하고 있으며, 고객 맞춤형 분말 개발 및 가격 경쟁력을 갖추고 있습니다.

3. 주요 적용 분야
① IT/디스플레이 : 반도체 및 디스플레이 설비의 내식·절연 부품(Shield, Ring, Liner 등)
② 항공우주/에너지 : 우주 발사체(75톤급 챔버 등), 발전용 터빈 블레이드 및 연소실 부품
③ 기타 산업 용사 : 제철소 롤, 자동차 엔진 블록 및 배기관, 화학 설비 등 다양한 산업 전반에 적용

정전척(ESC, Electro-Static Chuck)

1. 정전척(ESC, Electro-Static Chuck)
디스플레이 및 반도체 공정에서 기판을 정전기로 고정하는 핵심 부품을 제작 및 재생하는 사업입니다.

2. 제품 라인업
Mono-Polar, Bi-Polar, Dual Type 등 다양한 방식의 ESC를 제공합니다.

3. 핵심 기술 (Bi-Polar ESC)
① W(텅스텐) 패턴 전극을 이용하며, 분할 타입 제작 방식으로 8세대(8G) 대면적 사이즈까지 대응
② 에폭시 실란트(Epoxy Sealant)를 적용하여 아웃게싱(Out-gassing)이 적고, 높은 절연 저항 및 낮은 누설 전류 특성을 확보하여 제품 신뢰성 확보
③ 초정밀 연마 기술: 평면 연삭기를 사용하여 8세대 기준 평탄도 10㎛ 이하, 연마결 단차 0.2㎛ 이하의 정밀도를 구현